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今天，記者從國防科技大學(xué)了解到，機(jī)電工程及自動(dòng)化學(xué)院自主研發(fā)的新一代超精密光學(xué)配件加工設(shè)備已通過相關(guān)單位組織的工藝評定。結(jié)果表明，該套設(shè)備的加工精度達(dá)到了亞納米水平的重大突破，典型試件光學(xué)零件的均方根方根值達(dá)到了0.361 nm，表明我國超精密光學(xué)零件加工技術(shù)已進(jìn)入[敏感詞]行列。

超精密加工技術(shù)是先進(jìn)裝備制造的關(guān)鍵瓶頸技術(shù)，而納米精度被譽(yù)為超精密加工技術(shù)的“皇冠上的寶石”。過去，由于我國光學(xué)零件加工技術(shù)落后，無法加工大直徑、高精度、復(fù)雜表面形狀的光學(xué)配件，嚴(yán)重制約了相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步。自20世紀(jì)80年代以來，在李圣怡，教授的領(lǐng)導(dǎo)下，經(jīng)過30多年的頑強(qiáng)拼搏和自主創(chuàng)新，大學(xué)精密工程創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)突破了高精度機(jī)床精密運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)、高效磁流變拋光液制備、離子束穩(wěn)定控制、光學(xué)元件亞納米全波段誤差控制等核心關(guān)鍵技術(shù)。開發(fā)了一系列具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的磁流變和離子束拋光設(shè)備，打破了發(fā)達(dá)[敏感詞]對超精密加工設(shè)備的技術(shù)封鎖，使中國成為繼美和德之后掌握兩項(xiàng)高精密光學(xué)配件加工技術(shù)的[敏感詞]。

近年來，在[敏感詞]重大科技專項(xiàng)“大規(guī)模集成電路制造設(shè)備及完整工藝”和[敏感詞]自然科學(xué)基金的支持下，該大學(xué)精密工程創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)成功研制出新一代離子束拋光機(jī)床和數(shù)控光順拋光機(jī)床，小可控材料去除量為0.1 nm。相關(guān)專家指出，這一自主創(chuàng)新成果可以為“大規(guī)模集成電路制造設(shè)備及成套工藝”、“高分辨率地球觀測系統(tǒng)”等[敏感詞]重大科技項(xiàng)目提供強(qiáng)有力的技術(shù)支持和設(shè)備支持，并將直接推動(dòng)相關(guān)領(lǐng)域的關(guān)鍵技術(shù)突破，對提高我國先進(jìn)裝備制造水平具有重要意義。